Labor Plasma- und Oberflächentechnik

Beschichtungsanlagen

DREVA Arc 400 von VTD:

Für das Aufbringen von funktionellen Schichten auf Flächenware und 3D-Objekten verfügt die Hochschule Hof über die Anlage DREVA Arc 400 der Firma VTD. Die zu beschichtenden Substrate müssen allerdings vakuumkompatibel sein. Durch die verschiedenen einsetzbaren Beschichtungsmaterialien und Reaktivgase können Metalle, Legierungen, Metalloxide, -nitride, -carbide und Mischungen daraus als Schichten erzeugt werden. Die Beschichtungen können auf unterschiedlichste Anforderungen angepasst werden. Es können z.B. harte und verschleißfeste Beschichtungen, sogenannte Hartstoffschichten, abgeschieden werden. Weitere Beispiele für Funktionalität sind: dekorativ, leitfähig, benetzbar, entspiegelnd, schützend, gleitend und vieles mehr. Auch Kombinationen aus mehreren Eigenschaften sind teilweise möglich.

Univex 450 von Leybold:

Die Anlage Univex 450 der Firma Leybold arbeitet mit dem Verfahren der thermischen Verdampfung. Dabei werden  niedrigschmelzende Metalle, wie zum Beispiel Aluminium, in einer Vakuumkammer verdampft und kondensieren als dünne Schicht auf dem Substrat. Vakuumkompatible Substrate werden dadurch in der Anlage metallisiert. Als Quelle der Widerstandsbedampfung dienen Schiffchen oder Glühwendel. Die maximale Größe der Substrate beträgt in etwa DIN-A4.

Faserbeschichtungsanlage (Rolle-zu-Rolle):

Diese spezielle Anlage wurde für die Beschichtung von Filamenten, Garnen oder Bändern entwickelt. Die vakuumkompatiblen Substrate können eine Breite von bis ca. 50 Millimetern aufweisen und laufen innterhalb der Vakuumkammer von der Abwickelrolle kontinuierlich durch die Beschichtungszone zur Aufwickelrolle. Durch die große Auswahl an Beschichtungsmaterialien und die Möglichkeit der Zufuhr von Reaktionsgasen können reine Metalle, Legierungen, Metalloxide, -nitride, -carbide und Mischungen daraus als Schichten mittels Sputtern erzeugt werden. 

META B 30.1 von VTD:

Eine Anlage, die speziell für Praktika der Studenten der Hochschule Hof benutzt wird, ist die Hochvakuum-Bedampfungsanlage META B 30.1 der Firma VTD. Hier werden durch thermische Verdampfung dünne Schichten auf vakuumkompatiblen Substraten erzeugt. In dieser Anlage wird ausschließlich Aluminium als Beschichtungsmaterial verwendet.

Plasmaanlagen

Plasma-Processor 3017-G:

In der Anlage erfolgt die Vorbehandlung von Substraten durch Mikrowellenplasma im Niederdruckbereich. Insbesondere werden polymere Werkstoffe plasmabehandelt, um die Benetzbarkeit und die Haftung nachfolgender Beschichtungen zu verbessern. Aber auch andere Materialien, wie Glas, Keramik und Metalle, können zur Feinstreinigung plasmabehandelt werden.

Vorlesungen:

• Funktionale Oberflächentechnik
• Beschichtungstechnik - Dünne Schichten
• Moderne Beschichtungsverfahren

Laborordnungen:

• Allgemeine Laborordnung
• Anlage 1: Spezielle Laborordnung ING

Raum:

C 008

HIWI-Stellen:

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